下载一种采用双线阵图像探测器的角位移测量系统的技术资料

文档序号:14786184

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本发明公开了一种采用双线阵图像探测器的角位移测量系统,该角位移测量系统主要包括主轴、光源、双光学透镜、光栅码盘、双线阵图像探测器、数据采集电路、译码及角度细分电路,工作时主轴带动光栅码盘转动,光源发出平行光源透过光栅码盘通过光学透镜映射到线...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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