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本发明涉及新型钌化合物、所述钌化合物的制备方法、包含所述钌化合物的用于沉积含钌膜的前体组合物以及利用所述前体组合物的含钌膜沉积方法。...
该专利属于UP化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过UP化学株式会社授权不得商用。

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