下载一种腔内具有连续喷射冷却功能的均热板及其方法的技术资料

文档序号:14757430

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本发明公开了一种腔内具有连续喷射冷却功能的均热板及其方法,首先均热板由上盖板、下盖板和中间盖板组成,在上盖板设置流动槽道,中间盖板上设置流动槽道和冷却喷嘴,在下盖板上设置流动槽道和喷射冷却腔,在所有盖板焊接在一起时盖板上的流动槽道一端与冷却...
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