下载一种复合纳秒-皮秒-飞秒激光技术的陶瓷钻孔方法的技术资料

文档序号:14757120

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本发明公开一种复合纳秒‑皮秒‑飞秒激光技术的陶瓷钻孔方法,包括以下步骤:S10、提供多脉宽光纤激光器,包括纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器,采用纳秒激光器对固定于工作台上的陶瓷工件进行粗加工,同时在加工位置附近喷射辅助气体;S20、采用皮...
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