下载半导体装置的技术资料

文档序号:14754064

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本发明的半导体装置,包括:由第1导电型的SiC构成的半导体层;在所述半导体层的表面部形成多个并分别构成单位单元的第2导电型的主体区域;形成在所述主体区域的内侧的第1导电型的源极区域;隔着栅极绝缘膜而与所述主体区域对置的栅极电极;在所述半导体...
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