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用于多区域的化学机械平坦化研磨头的可配置压力设计制造技术
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下载用于多区域的化学机械平坦化研磨头的可配置压力设计的技术资料
文档序号:14746380
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提供一种用于化学机械平坦化的研磨头。该研磨头包括壳体与固定至壳体的柔性隔膜。至少第一、第二与第三可加压腔室设置于壳体中且各腔室接触柔性隔膜。第一压力传送通道与第一腔室耦接。第二压力传送通道与第三腔室耦接。第一压力馈送线路将第一压力传送通道耦...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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