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本发明公开了一种利用高温纳米压痕仪测量高温氧化膜内应力的方法。本发明利用高温纳米压痕仪，对被测试件的表面做压痕，逐段升温，同时利用高温探针扫描，在线、原位地直接记录分析被测试件的表面从平坦到粗糙起伏的转变过程，同时根据表面形貌演化图像，利用...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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