温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种气体分布板，其包括板体以及盖板。板体具有进气面以及与所述进气面相对的喷洒面。所述板体中具有冷却管道与多个气体管道，其中所述气体管道贯穿所述板体且包括位于所述进气面处的进气口以及位于所述喷洒面处的出气口，所述冷却管道由所述进气...
该专利属于英属开曼群岛商精曜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英属开曼群岛商精曜有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。