下载利用连续管状反应器制备氯硅烷气体的方法的技术资料

文档序号:14736666

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本发明涉及一种以有效的方式由四氯硅烷制备三氯硅烷的设备。该设备包括:入口,分散在液体四氯硅烷中的包含金属硅粉末的反应原料通过该入口进入;孔,气体反应原料通过该孔供给;出口,包含三氯硅烷的反应产物通过该出口排出;管状反应器,在该管状反应器中,...
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