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本发明涉及一种固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法，属于表面处理技术领域，包括下述步骤，将装满ＮａＯＨ的Ｎｉ坩埚放入马弗炉或者可控温设备中加热升温至５５０℃以上，保持该温度；或直接将碳化硅样品放入装满ＮａＯＨ的Ｎｉ坩埚中直接加热，浸泡时间为３０秒...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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