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本实用新型一种薄膜在线监测装置，包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头，该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值，该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值，膜层分...
该专利属于中山瑞科新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山瑞科新能源有限公司授权不得商用。

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