一种薄膜在线监测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术一种薄膜在线监测装置，包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头，该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值，该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值，膜层分析装置用于根据所述镀膜参数模拟值、表面温度模拟值计算并且显示镀膜参数。本实用新型专利技术在线监测装置相对于传统离线监测装置监测速度更快，且在线监测是对每一片镀膜玻璃的膜层厚度进行监测，技术人员可以根据每片玻璃的镀膜装置对工艺和设备进行调整，避免了由于监测遗漏造成的损失。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种薄膜在线监测装置。
技术介绍
目前，大面积玻璃镀膜膜层质量的监测方式，都是采用离线监测的方法，即玻璃完成镀膜后，再通过专门的测试仪器对膜层质量进行监测；此类方法虽然能测试大面积玻璃镀膜的膜层厚度，但是由于是离线测量，会造成反馈延时，工程人员不能及时得到相关镀膜数据进行相关的分析，镀膜过程中无法掌控镀膜的质量，不能在镀膜过程中及时的进行工艺质量调整，往往致使产品不良、材料浪费，增加企业的运营成本。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术目的是提供一种薄膜在线监测装置。本技术采用的技术方案是：一种薄膜在线监测装置，包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头，该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值，该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值，膜层分析装置用于根据所述镀膜参数模拟值、表面温度模拟值计算并且显示镀膜参数。所述膜层分析装置设置有显示屏。所述镀膜参数模拟值包括膜层的厚度、透过率、折射率、反射率、消光系数中的一种或多种。本技术的有益效果：本技术在线监测装置相对于传统离线监测装置监测速度更快，且在线监测是对每一片镀膜玻璃的膜层厚度进行监测，技术人员可以根据每片玻璃的镀膜装置对工艺和设备进行调整，避免了由于监测遗漏造成的损失，大大降低了企业运营成本。附图说明下面结合附图对本技术的具体实施方式做进一步的说明。图1为本技术薄膜在线监测装置的结构示意图。具体实施方式如图1所示，为本技术的一种薄膜在线监测装置，包括一膜层分析装置5以及分别与膜层分析装置电性连接的一膜层测量仪探头2、一红外测温探头3，该膜层测量仪探头2用于检测镀膜时玻璃芯片1的镀膜参数模拟值（包括膜层的厚度、透过率、折射率、反射率、消光系数中的一种或多种），该红外测温探头3用于检测镀膜时玻璃芯片1的表面温度模拟值，膜层分析装置5用于根据所述镀膜参数模拟值、表面温度模拟值计算并且显示镀膜参数，膜层分析装置5设置有显示屏。需要指出的是，本实施例中膜层测量仪探头2、红外测温探头3的数目为一个，但不作为唯一限定，也可以是多个，取平均值或最优值。使用时，本技术薄膜在线监测装置安装在镀膜机4上，对玻璃芯片1在线监测，其中所述玻璃芯片1在镀膜时位于镀膜机4内的传输线上，是本装置镀膜的产品和验证产品；所述膜层测量仪探头2位于镀膜机4的镀膜腔室6顶部，此探头根据需求可测量膜层的厚度、透过率、折射率、反射率、消光系数等；所述红外测温探头3同样位于镀膜腔室6顶部，此探头根据需求可测量玻璃芯片1的表面温度；所述膜厚分析装置5通过对膜层测量仪探头2、红外测温探头3的测量值进行分析计算得到膜层的厚度、透过率、折射率、反射率、消光系数等。由于膜厚分析装置5自带显示功能，技术人员可通过膜厚分析装置5显示的参数对镀膜状态进行实时监测和分析，并判断产品质量问题。以上所述仅为本技术的优先实施方式，本技术并不限定于上述实施方式，只要以基本相同手段实现本技术目的的技术方案都属于本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜在线监测装置，其特征在于：包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头，该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值，该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值，膜层分析装置用于根据所述镀膜参数模拟值、表面温度模拟值计算并且显示镀膜参数。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜在线监测装置，其特征在于：包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头，该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值，该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值，膜层分析装置用于根据所述镀膜参数...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈金良，焦伟，何光俊，齐鹏飞，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44