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本发明属于薄膜制备技术领域，具体为一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔。包括反应铜管、连接于反应铜管两端的进排气仓和冷却管。反应铜管两端接到进排气仓；导热带绕于反应铜管和冷却管；进排气仓均设有一个孔隙，与反应腔中间的反应铜管在一条...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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