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利用双维恩过滤器单色器的电子束成像制造技术
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下载利用双维恩过滤器单色器的电子束成像的技术资料
文档序号:14698082
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一个实施例涉及一种双维恩过滤器单色器。第一维恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中,同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过,同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二维恩过滤器...
该专利属于科磊股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科磊股份有限公司授权不得商用。
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