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纯八氯三硅烷和十氯四硅烷的制备方法技术
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文档序号:14697478
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本发明涉及三‑和/或四硅化合物或者三‑和/或四锗化合物的制备方法,其中使硅化合物的混合物或锗化合物的混合物暴露于非热等离子体,和使所得的相经受至少一次真空精馏和过滤。...
该专利属于赢创德固赛有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赢创德固赛有限公司授权不得商用。
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