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瀑布式层流蚀刻装置制造方法及图纸
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文档序号:1469327
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在本发明提供一种瀑布式层流蚀刻装置,其主要包含载台、在载台表面上的凸状物、以及蚀刻溶液释放器。在操作时,主要先使光学玻璃呈现倾斜状态,且由蚀刻溶液释放器的凹槽溢出的蚀刻溶液,利用瀑布流下方式均匀地流经已摆放在载台上的光学玻璃,使光学玻璃被均...
该专利属于光捷国际股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光捷国际股份有限公司授权不得商用。
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