温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种测量方法包括：通过将第一分光照射到物体来获取从物体反射的图案反射光，第一分光通过反射偏振光来产生；通过将第二分光照射到反射器来获取从反射器反射的相位受控的镜面反射光，第二分光通过传输偏振光来产生；以及基于图案反射光与镜面反射光之间的干涉...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。