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本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备，包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明，所述显微镜检查设备包括：串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上的...
该专利属于堀场乔宾伊冯公司所有，仅供学习研究参考，未经过堀场乔宾伊冯公司授权不得商用。

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