下载晶圆片的清洗烘干系统的技术资料

文档序号:14688300

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本发明涉及一种晶圆片的清洗烘干系统,包括带状清洗槽、安装于所述清洗槽两侧的多根清洗管及安装于清洗槽底部的排水槽,所述清洗槽的前端安装有分输箱,清洗槽包括清洗区及烘干区,所述清洗区的两侧槽板上具有喷洗孔,所述烘干区两侧槽板上具有喷气孔,所述喷...
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