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本发明涉及一种高低温真空漏孔校准装置及方法，属于测量领域。所述装置中：标准真空漏孔通过第一阀门与校准室相连；抽气机组通过第三阀门与校准室相连；被校真空漏孔通过第二阀门与校准室相连，置于高低温度室内；质谱计与校准室相连；真空计与校准室相连；温...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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