下载非球面元件面形检测装置及检测方法的技术资料

文档序号:14685115

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本发明提供了一种非球面元件面形检测装置,依次包括:干涉仪、环形平晶、调平垫圈、零位补偿器和待测镜面安装座,所述干涉仪的光轴方向与所述零位补偿器的光轴方向平行。本发明还提供了一种非球面元件面形检测的方法。本发明提供的非球面元件面形检测装置及方...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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