下载管口指标装置及基板处理装置的技术资料

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一种管口指标装置包含一本体以及一发光单元。本体的一端具有一连接部,用以使本体套接于一管路的一流体出口端。发光单元设置于本体内,用以产生一指示光,以指出管路的一流体出口或一中心于一基板的一投影位置。由于发光单元所产生的指示光不会占据实体空间,...
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