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于此提供一种用于保持基板的静电夹盘。在一些实施方式中，用于保持基板的静电夹盘可包含：感受器，该感受器包含：导电性感受器基底，该导电性感受器基底具有形成于该导电性感受器基底的上表面中的一个或更多个冷却通道；突起中央支撑件，该突起中央支撑件设置...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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