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本发明以提供研磨速度快且平坦化特性优异的研磨垫及其制造方法作为目的。在具有由聚氨酯树脂发泡体形成的研磨层的研磨垫中，作为所述聚氨酯树脂发泡体的形成材料的聚氨酯树脂通过异氰酸酯末端预聚物的氨基甲酸酯基或者脲基与下式(1)所示的包含烷氧基甲硅烷...
该专利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司授权不得商用。

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