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本发明公开了一种除尘装置、蒸镀机台及以其进行清洁遮罩的方法，其中蒸镀机台包括一蒸镀室，一超音波清洁室以及至少一传输装置。蒸镀室内利用至少一遮罩对一基板进行蒸镀作业。传输装置用于在蒸镀室及超音波清洁室之间传递遮罩。超音波清洁室内，设有一除尘装...
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