The invention discloses a dust removing device, a steaming machine table and a method for cleaning the mask thereof, wherein, the evaporation machine table comprises a vapor plating chamber, an ultrasonic cleaning chamber and at least one transmission device. The evaporation plate is used for evaporating a substrate by at least one mask. The transmission device is used to transfer the mask between the evaporation chamber and the ultrasonic cleaning chamber. The ultrasonic cleaning room is provided with a dust removing device, which comprises an ultrasonic generator, a pneumatic extractor and a dust collector. Method of cleaning mask is the use of transmission device will mask by evaporation chamber removed, into the clean room by ultrasound, ultrasonic generator and dust removing device in the particle wave motion mask surface and make easy to loose particles, and by air blowing for blowing gas flow will mask the surface particles and particles to raise, vacuum cleaner will be the raised suction. After the mask cleaning is complete, the mask is sent to the evaporation chamber for evaporation operation by the transmission device.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种除尘装置及一种具有此除尘装置的蒸镀机台，并且还涉及一种利用此蒸镀机台对遮罩进行线上清洁的方法。
技术介绍
现今，由于有机发光二极管(Organic Light Emitted Diode，以下简称OLED)显示器具有高亮度、高反应速度、直流低电压驱动、重量轻、无视角差及不需背光源等诸多优点，使其越来越受到人们的重视，成为下一代显示器面板的发展重点。而最常利用遮罩蒸镀法是选择性地在玻璃基板表面分别形成可发出红、蓝、绿三色光的发光薄膜层。其中遮罩蒸镀法的主要作业方式，是将一表面已具有透明电极层(ITO)的玻璃基板送至蒸镀室中，并在蒸镀室内设有红、蓝、绿三色的有机发光材料源，每当进行其中一种颜色的薄膜层的蒸镀作业时，使此颜色的材料蒸发，同时利用一具有开孔的遮罩遮蔽基板，使汽化后的材料通过遮罩的开孔，附着成形于玻璃基板的透明电极层表面，并在此一颜色的薄膜层形成后，遮罩平行于基板移动，使遮罩的开孔位移动至下一颜色薄膜层预定形成的位置，以进行下一颜色的薄膜层的蒸镀。如图1A所示，玻璃基板1，其表面已形成一透明电极层11，并利用阴极图案加工方法，在透明电极...
【技术保护点】
一种除尘装置，适用于一蒸镀机台中，包括：一超音波产生器；一气流吹出器；以及一吸尘器；其中超音波产生器产生震波将对象表面的微粒震动并使该微粒松动，同时气流吹出器吹出气流将该微粒扬起，并由吸尘器将该微粒吸除。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：柯崇文，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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