下载转移微电子和其它工业生产过程中的超临界流体的方法的技术资料

文档序号:1465947

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种将超临界流体从压力容器中置换出来的方法,其包括以下步骤:    提供密闭压力容器,其中含有超临界流体,所述超临界流体包括二氧化碳;    向所述容器中加入第二流体,其中第二流体添加的压力高于所述超临界流体的压力,第二流体的密度低于所述超...
该专利属于米歇尔技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过米歇尔技术公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。