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转移微电子和其它工业生产过程中的超临界流体的方法技术
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文档序号:1465947
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一种将超临界流体从压力容器中置换出来的方法,其包括以下步骤: 提供密闭压力容器,其中含有超临界流体,所述超临界流体包括二氧化碳; 向所述容器中加入第二流体,其中第二流体添加的压力高于所述超临界流体的压力,第二流体的密度低于所述超...
该专利属于米歇尔技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过米歇尔技术公司授权不得商用。
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