温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于热电堆红外探测器的入射光线聚集器的制作工艺，其具体工艺步骤如下：(1)使用湿法氧化工艺在P‑型(100)硅基底上形成氧化层；(2)在P‑型(100)硅基底的正面依次进行旋涂光刻胶、前烘、曝光、显影形成图案，露出需要刻蚀区...
该专利属于深圳市美思先端电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市美思先端电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。