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一种化学沉积密封装置，其包含：一第一扣紧组件；一第二扣紧组件，与第一扣紧组件相扣合；一定位装置，设置于第一扣紧组件与第二扣紧组件之间。定位装置包括：一第一承座，用以承载一基板；一第二承座，用以承载另一基板；其中，该第一扣紧组件具有一第一凸缘...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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