化学沉积密封装置制造方法及图纸

一种化学沉积密封装置，其包含：一第一扣紧组件；一第二扣紧组件，与第一扣紧组件相扣合；一定位装置，设置于第一扣紧组件与第二扣紧组件之间。定位装置包括：一第一承座，用以承载一基板；一第二承座，用以承载另一基板；其中，该第一扣紧组件具有一第一凸缘，该第二扣紧组件具有一第二凸缘，该第一凸缘设有一第一内密封环，该第二凸缘设有一第二内密封环，且在该第二扣紧组件上设有一第二外密封环。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种化学沉积密封装置，尤其涉及一种双片同步密封的双片挂具、结构简单、制造容易且机构可靠度高的化学沉积密封装置。
技术介绍
化学沉积为3C产业微细化的重要工艺设备，以往皆为单槽单片(如，晶片)的化学沉积方式，近年来随着产业需求，单槽双片的化学沉积应用渐趋重要，因具有产能加倍以及化学液使用量小的优势，已逐渐成为化学沉积主流技术。已知的双片(如，晶片)的沉积密封技术仍需二次密封，每次密封必须测漏才能确保密封品质，避免化学液体泄漏至基板(如，晶片)背面，产生不同化学工艺间的化学液交叉污染以及影响化学沉积的品质与生产稳定性。其中一公知结构的产品需运用气囊元件充放气以及旋转伺服马达，使具弹性化结构勾板变形，最终产生扣紧力达到晶片密封功效，但其制造成本显然过高；另有公知结构必须控制密封所需的扭紧力矩，达到晶片密封效果，但其基板厚度改变，即会造成起始旋转位置偏差，增加自动化工艺的复杂度。综上所述，如何克服公知双片(如，晶片)的沉积密封技术的缺点乃为熟知此技术人员所竭力苦思的重要课题。
技术实现思路
在一实施例中，本技术提出一种化学沉积密封装置，其包含：一第一扣紧组件；一第二扣紧组件，与该第一扣紧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学沉积密封装置，其包含：一第一扣紧组件；一第二扣紧组件，与该第一扣紧组件相扣合；一定位装置，其设置于该第一扣紧组件与该第二扣紧组件之间，该定位装置包括：一第一承座，用以承载一基板；一第二承座，用以承载另一基板；其中，该第一扣紧组件具有一第一凸缘，该第二扣紧组件具有一第二凸缘，该第一凸缘设有一第一内密封环，该第二凸缘设有一第二内密封环，且在该第二扣紧组件上设有一第二外密封环。

【技术特征摘要】
2016.05.10 TW 1052067461.一种化学沉积密封装置，其包含：一第一扣紧组件；一第二扣紧组件，与该第一扣紧组件相扣合；一定位装置，其设置于该第一扣紧组件与该第二扣紧组件之间，该定位装置包括：一第一承座，用以承载一基板；一第二承座，用以承载另一基板；其中，该第一扣紧组件具有一第一凸缘，该第二扣紧组件具有一第二凸缘，该第一凸缘设有一第一内密封环，该第二凸缘设有一第二内密封环，且在该第二扣紧组件上设有一第二外密封环。2.如权利要求1所述的化学沉积密封装置，其中该定位装置还包括：多个销体，设置于该第一承座与该第二承座之间，该销体的轴向其中一端的外围具有凸缘，在该第一承座上设有一限位板，该限位板与该第一承座之间具有一距离D，该销体的该凸缘的一端设置于该限位板与该第一承座之间，该销体相对的另一端伸出该限位板并固设于该第二承座上；多个弹性元件，设置于该第一承座与该第二承座之间，当该多个弹性元...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜陈忠，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71