下载涂敷装置和涂敷方法的技术资料

文档序号:1465336

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本发明提供一种可容易地确定狭缝喷嘴的平行基准及高度基准、并可准确地进行涂敷时基板表面与狭缝喷嘴下端之间距离的微调的涂敷装置。该涂敷装置,在基板放置部(3)的涂敷开始位置侧的侧面的宽度方向的两端,分别安装有用于确定狭缝喷嘴(5)的水平基准及高...
该专利属于东京应化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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