下载一种用于金丝键合的电极结构的技术资料

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一种用于金丝键合的电极结构,包括依次叠置的地电极、介质层和共面波导电极,其特征在于,还包括带状线,所述带状线位于所述介质层垂直方向的中间,且与所述共面波导电极的位置相对应,所述金丝键合处位于共面波导电极处与带状线相对应的位置。其中,带状线的...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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