温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种等离子体处理系统，该等离子体处理系统能够利用单个功率源组件来使用同一物理硬件生成感应耦合等离子体(ICP)和表面波等离子体。功率源组件可以包括天线板，天线板可以包括对于射频(RF)功率源被用作ICP线圈而对于微波源被用作槽天线...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。