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本发明涉及钇基喷涂涂层和制造方法。通过将氧化钇、氟化钇或氧氟化钇热喷涂到基材上以形成10‑500μm厚的涂层，并且用有机酸、无机酸或其混合物的清洁液对该涂层进行化学清洁直至该涂层表面具有300nm以下的尺寸的颗粒的粒数变为不多于5个颗粒/m...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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