下载隔离型LDMOS结构及其制造方法的技术资料

文档序号:14642055

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种隔离型LDMOS结构及其制造方法,包括集成在同一P型衬底基片上的隔离槽结构和LDMOS结构;隔离槽结构位于P型衬底及其上方的N型外延层内、LDMOS结构的第二P型重掺杂区和第一P型扩散阱区之间,隔离槽结构包括至少一个槽、槽内部...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。