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本发明公开了一种硅阵列结构的太赫兹波偏振分束器。它包括基底层、中央矩形硅波导、左一长矩形硅波导、左二长矩形硅波导、左三长矩形硅波导、中一短矩形硅波导、中二短矩形硅波导、中三短矩形硅波导、下一长矩形硅波导、下二长矩形硅波导、右一长矩形硅波导、...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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