下载电子显微镜的技术资料

文档序号:14618516

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本发明提供一种电子显微镜,其特征在于,在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5),使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致,并使第一成像透镜(61)的焦距变化,来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中,在...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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