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一种半导体晶圆除尘清洗机制造技术
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文档序号:14616104
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本实用新型公开了一种半导体晶圆除尘清洗机,包括吸尘装置、清洗罐、转轴、计时器、液位计、温度表、加热器、固定夹、排水管、溢流管、接盘和热风机,所述的清洗罐内设有液位计,清洗罐上设有计时器,清洗罐外壁设有温度表,清洗罐底端设有加热器,清洗罐底端...
该专利属于何景瓷所有,仅供学习研究参考,未经过何景瓷授权不得商用。
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