下载中空光波导的制备工艺的技术资料

文档序号:1461604

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本发明是一种中空介质膜金属光波导的制备工艺,包括芯基的拉制及表面处理,介质膜及金属膜的真空蒸涂、金属外壳的电镀、芯基的腐蚀去除等步骤,制得的中空光波导内层为介质膜,中间层为金属膜,外壳为金属镀层。本制备工艺采用表面光洁度高的玻璃管作为芯基,...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。

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