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MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法，按比例称取ZnO和MgO粉装入尼龙球磨罐，加入无水乙醇和玛瑙球，在星型球磨机上快速球磨后取出混合粉，筛分出玛瑙球；烘干无水乙醇；填入模具中在高温炉中加热加压；出炉后靶坯加工切片成靶材。将高纯度ZnO粉Mg...
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