专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
王志元
>
接头及晶圆支持载具制造技术
>技术资料下载
下载接头及晶圆支持载具的技术资料
文档序号:14590637
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型揭露一种接头及晶圆支持载具,其中该接头大致呈圆柱状,其包含一螺牙段、一挡止段及一弹臂段,螺牙段的表面刻设有螺纹,挡止段设置于螺牙段与弹臂段之间,弹臂段的直径大于螺牙段,且弹臂段自远离挡止段的一端断开并朝向挡止段的方向延伸以形成至少...
该专利属于王志元所有,仅供学习研究参考,未经过王志元授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。