下载金属层-绝缘层-金属层电容器的技术资料

文档序号:14576399

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本实用新型提供一种金属层-绝缘层-金属层电容器,适于应用于集成电路的片内电容,包括:第一金属层,于第一金属层上定义有非电容区域、电容区域;于电容区域中的第一金属层表面上设置的若干围堰侧墙,围堰侧墙包括位于底部的第一介质层及位于第一介质层上的...
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