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本发明提供一种服务器计算机系统，所述服务器计算机系统为运行配方的第一工具建立参考指纹。服务器计算机系统使用参考数据来建立参考指纹，所述参考数据与在参数之内执行的第一工具相关。参考指纹包括目标基线及基于目标基线的允许范围。服务器计算机系统基于...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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