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一种脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法，包括如下步骤，提供基板，将基板先进行前处理，然后放入溅射腔室中；及提供靶材，将所述靶材放入溅射腔室中；以及在电源的作用下，采用脉冲直流溅射在基板上溅射制备五氧化二铌薄膜。根据本发明的五氧化二铌薄膜的...
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