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本发明公开了一种氧化镁烧结体靶材的微量硅元素均匀掺杂方法。首先将硅源溶解制备成前驱液：当所用硅源为可溶于水的如硅酸钠、硅酸、硅酸钾等，直接用去离子水溶解，再进行定容，形成前驱液；当所用硅源为可溶于有机溶剂的硅源，如正硅酸乙脂、三甲基硅醇、四...
该专利属于营口镁质材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过营口镁质材料研究院有限公司授权不得商用。

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