下载一种电子薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:14554986

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本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法,采用喷雾热分解法,包括配制前驱液、薄膜沉积步骤,其特征在于:所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液,采用喷雾热解法,以可移动加热平台作为加热源,可以...
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