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本实用新型公开一种磁控溅射台，包括真空工作台、靶材、靶体和顶板，所述靶体设在靶材上，所述靶体与靶材螺纹连接，所述顶板设在靶材外侧，所述顶板与真空工作台无缝连接，所述顶板下方设置有屏蔽罩，所述靶材内设置有转动轴，所述转动轴上设置有电动机，所述...
该专利属于北京普拉斯马科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京普拉斯马科技有限公司授权不得商用。

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