温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种薄膜芯片的制作方法及其薄膜芯片，包括：提供一发光外延片，所述发光外延片由生长衬底和发光外延叠层构成，并在所述发光外延叠层上制作若干个芯片结构层，在相邻的芯片结构层之间，于发光外延叠层表面定义出切割道；在所述切割道上预划出沟槽...
该专利属于厦门市三安光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门市三安光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。