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本发明涉及具有氢化钛涂层的蒸发器体及其生产和使用方法。一种用于PVD涂布系统的蒸发器体(2)包括基体(4)和蒸发器表面(6)，所述蒸发器表面上涂敷有二氢化钛层。氢化钛层包含有机载体剂和作为单一无机固体的氢化钛。所述层的厚度小于或等于10μm...
该专利属于肯纳金属公司所有，仅供学习研究参考，未经过肯纳金属公司授权不得商用。

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