下载探测传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:14532915

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本发明揭示了一种探测传感器,包括:半导体基底;隔离层,形成于所述半导体基底上;互连层,形成于所述隔离层上;第一插塞,形成于所述半导体基底上,并位于所述隔离层和互连层中,所述第一插塞与互连层形成电连接;导电垫片,形成于所述互连层上,并与所述互...
该专利属于上海丽恒光微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海丽恒光微电子科技有限公司授权不得商用。

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